日前,工業(yè)和信息化部公布了2012年信息產(chǎn)業(yè)重大技術(shù)發(fā)明評(píng)選結(jié)果,全國(guó)共有7項(xiàng)成果入圍。其中,由硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、材料系半導(dǎo)體材料研究所楊德仁教授研究團(tuán)隊(duì)和浙江金瑞泓科技股份有限公司聯(lián)合完成的“重?fù)搅字崩鑶尉У闹苽浼夹g(shù)及其應(yīng)用”榜上有名。
重?fù)搅字崩鑶尉堑凸奈㈦娮悠骷幕A(chǔ)材料,其制備技術(shù)在我國(guó)長(zhǎng)期未能取得突破。國(guó)際上,僅有極少數(shù)領(lǐng)先的硅材料公司能商業(yè)化生產(chǎn)重?fù)搅字崩鑶尉АW?002年,楊德仁教授研究團(tuán)隊(duì)與浙江金瑞泓科技股份有限公司的技術(shù)團(tuán)隊(duì)緊密合作,在重?fù)搅字崩鑶尉У闹苽浼夹g(shù)上進(jìn)行自主創(chuàng)新。經(jīng)過多年努力,在重?fù)街崩鑶尉У膿诫s技術(shù)、熱場(chǎng)設(shè)計(jì)以及缺陷表征和控制技術(shù)等方面取得了創(chuàng)新成果,突破了重?fù)搅字崩鑶尉У木w生長(zhǎng)工藝和硅片加工等關(guān)鍵工藝,形成了完整的具有我國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的重?fù)搅字崩鑶尉е苽涞募夹g(shù)體系,并成功地應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)。目前,浙江金瑞泓科技股份有限公司是我國(guó)唯一的商業(yè)化生產(chǎn)重?fù)搅字崩鑶尉盗挟a(chǎn)品的硅材料公司,產(chǎn)品在滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求的同時(shí),還出口國(guó)外。至2011年底,該系列產(chǎn)品已累計(jì)新增銷售額超過3億元人民幣,利稅超過1.2億元人民幣。
硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
材料科學(xué)與工程學(xué)系
2013年1月23日

