浙江大學(xué)2項(xiàng)專利擬許可,現(xiàn)將相關(guān)信息予以公示。
[1]專利名稱:一種常壓化學(xué)氣相沉積鍍膜反應(yīng)器
專利號:ZL201410718690.4
專利簡介:本發(fā)明公開了一種常壓化學(xué)氣相沉積鍍膜反應(yīng)器。該鍍膜反應(yīng)器特點(diǎn)為:反應(yīng)器內(nèi)部設(shè)計(jì)有強(qiáng)化對流和束流結(jié)構(gòu)的混氣室;反應(yīng)器底部結(jié)構(gòu)采用具有良好熱導(dǎo)率的耐高溫鋼板;混氣室出口采用狹縫結(jié)構(gòu),作為反應(yīng)器鍍膜氣體噴嘴;反應(yīng)器噴嘴處安裝具有倒角結(jié)構(gòu)的石墨擋塊;反應(yīng)器進(jìn)氣腔與排氣腔采用完全對稱結(jié)構(gòu);反應(yīng)器鍍膜進(jìn)氣與排氣方向可以互換。該常壓化學(xué)氣相沉積鍍膜反應(yīng)器通過強(qiáng)化前驅(qū)體氣體對流傳熱,提高反應(yīng)熱效率,能夠使鍍膜沉積反應(yīng)在相對較低的溫度下進(jìn)行,降低鍍膜能耗,拓寬鍍膜溫度窗口。本發(fā)明的設(shè)計(jì)思路新穎,設(shè)備維護(hù)簡單,投資小,成本低,適合工業(yè)化或?qū)嶒?yàn)室設(shè)備應(yīng)用。
[2]專利名稱:一種摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測方法
專利號:ZL201910783766.4
專利簡介:本發(fā)明公開一種摻氟氧化錫鍍膜玻璃的光學(xué)參數(shù)檢測方法,該方法利用橢圓偏振光譜儀測試摻氟氧化錫鍍膜玻璃的橢偏參數(shù),建立梯度層與粗糙層雙層膜系結(jié)構(gòu)模型及各層對應(yīng)色散模型,梯度層的模型為隨著摻氟氧化錫鍍膜厚度的增加,從底層的介電材料漸變?yōu)轫攲拥耐该鲗?dǎo)電材料。通過迭代回歸橢偏光譜,獲得摻氟氧化錫薄膜的結(jié)構(gòu)及各層的光學(xué)參數(shù)。本發(fā)明僅采用橢偏光學(xué)測試手段便可測量非均質(zhì)摻氟氧化錫薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)參數(shù),對樣品無損傷、無接觸、測量耗時(shí)少,測試方法簡便、快捷,且對被測樣品表面無特殊要求,十分適合于在線低輻射節(jié)能鍍膜玻璃的性能在線檢測及監(jiān)控。
轉(zhuǎn)化方式:普通許可
定價(jià)方式:協(xié)議定價(jià)
轉(zhuǎn)化價(jià)格:100萬元
公示期自2020年12月9日至2020年12月23日。如有異議,請在公示期內(nèi)向?qū)W院科研辦或科學(xué)技術(shù)研究院提交異議書及有關(guān)證據(jù)。
學(xué)院科研辦
電話:87952290,郵箱:liujinfang@zju.edu.cn。
科學(xué)技術(shù)研究院
電話:88981082,郵箱:kyc1@zju.edu.cn。
2020年12月9日

